10月27日,第十屆中國半導體設備年會(CSEAC)在無錫太湖國際博覽中心隆重開幕,我司測量裝備事業(yè)部自主研發(fā)的ZEUS系列晶圓測裝備成功亮相,獲得行業(yè)用戶廣泛關(guān)注。



ZEUS系列非接觸式晶圓檢測裝備包括半自動晶圓綜合測量機、全自動晶圓綜合測量機和3D光學形貌儀,主要用于晶圓的厚度、TTV、Bow、Warp、RST、3D形貌、TSV、關(guān)鍵尺寸、粗糙度等參數(shù)的高精度測量,目前已被中芯長電、士蘭微等多家國內(nèi)半導體行業(yè)頭部企業(yè)選購應用,用戶反饋良好。
ZEUS系列3D光學形貌儀、半自動和全自動晶圓測量機(從左至右)
在10月29日的“制造工藝與半導體設備產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動發(fā)展論壇”中,我司測量裝備事業(yè)部總經(jīng)理張旭以“探索核‘芯’技術(shù),打造國產(chǎn)化非接觸檢測裝備”為主題,講述了晶圓檢測技術(shù)的自主研發(fā)歷程,介紹了集萃華科晶圓檢測裝備的技術(shù)特點和產(chǎn)品優(yōu)勢,獲得與會專家的高度評價與認同。

注:中國半導體設備年會是我國半導體設備行業(yè)唯一權(quán)威研討會,由中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會組辦,每年舉行一屆,既是行業(yè)風向標,又是全產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈深入交流與合作的平臺。